在半导体产业中,许多制程需要使用到超纯水,正如摩尔定律预期,每片晶圆上可生产的IC数量随着技术的进步快速的增加,水质对制程的影响也越来越重要,只要水中有微量的杂质就有可能影响痕率。
根据美国材料与试验协会(ASTM) 提出的ASTM_D5127电子及半导体工业用纯水水质要求,将建议的水质依照制程线宽分为六种:
在进行各项水质检测时,通常需要使用超纯水作为空白样品分析或是配液,这时候如果使用制程用水作为检验用水显然不满足需求,因为如果制程水中如果有污染物,将会同时引入到空白样与待测样品中,对结果产生很大影响。因此,为了确保检验的独立性和准确性,通常需要使用经过校准的超纯水系统作为检验用水。
随着半导体制程进步,产品规格不断微缩,对于设施的能源需求也将大幅提升。而在联合国气候大会之后,全球都朝着碳中和的目标加速前进。在半导体领先企业率先倡议可持续发展,越来越多的企业加入了承诺中长期节能减碳目标。作为全球实验室用水解决方案的领先厂商,不仅为半导体企业提供高纯电子级水,并且在产品研发生产过程中始终关切“可持续发展”,助力客户达成可持续发展指标。工厂都通过了ISO认证,意味着在生产过程中有着明确的环境管理政策;系统符合关键的环境法规,我们积极与通过可持续发展实践审计的供应商合作。
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